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    氮化硅制品熱壓燒結(jié)爐是用石墨作發(fā)熱元件的立式真空電阻爐，外有框架式四立柱支撐體。下有液壓油缸升降為壓力源，可供氮化硅制品、金屬化合物、陶瓷、無機(jī)化合物、納米材料等在真空或保護(hù)氣氛中加熱壓制產(chǎn)品。

產(chǎn)品主要技術(shù)參數(shù)

1.   工作腔室尺寸: 可定制

2.   冷態(tài)極限真空度：6 x 10-3pa（冷態(tài)）

3.   壓升率：  ≤1 Pa/h

4.   控溫區(qū)：一區(qū)控溫

5.   最高溫度：2000度（常用溫度≤1900℃）;

6.   最大壓力：可定制

7.   真空配置：根據(jù)實(shí)際配置選定;

8.   電器控制：各種電器原件，實(shí)現(xiàn)超溫、超壓、水欠壓報(bào)警，氣體超壓連鎖功能;

9.   可充氣體：氬氣，氮?dú)獾榷栊詺怏w進(jìn)行實(shí)驗(yàn)保護(hù);

10. 充氣壓力：≤0.05MPa（微正壓，超過可自動(dòng)調(diào)整放氣）;

11. 壓頭直徑：根據(jù)客戶要求;

12. 最大行程：根據(jù)客戶要求）；

13. 加熱功率： 以設(shè)計(jì)位置

14. 控溫方式：可編程程序自動(dòng)控制。

15. 測(cè)溫方式：熱電偶，

16. 爐體結(jié)構(gòu)：側(cè)開門，爐體為SUS304雙層不銹鋼；

17. 溫度均勻性：±5度（1800℃時(shí)）；