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上海全碩電爐有限公司
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Shanghai Alarge Furnace Co., Ltd
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氮化硅粉合成爐
    發布時間: 2022-10-13 17:45    

 

 

    本氮化硅合成爐,主要適用于硅粉與氮氣在高溫下合成氮化硅粉之用。是目前高純氮化硅制備的首選生產性爐型,目前為國內外大多數氮化硅粉廠家使用。

 

設備技術參數

項目

內容

電源電壓

380V*3相、50HZ

額定功率

120KW(40KW*3)

最高溫度

1600℃

常用溫度

0-1550℃

爐溫均勻性

±5℃

工作尺寸

500*500*1500mm(W*H*L)

極限真空度

10pa(空爐冷態經凈化)

控溫方式

可編程程序化自動控制

控溫方式

鎢錸熱電偶

控溫精度

±1℃

電氣連鎖

超溫、超壓、過流、水欠壓(流)連鎖及報警

 

詳情請與銷售人員聯系。


氮化硅粉合成爐


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